CreateProcess失败通常是由于以下原因之一引起的：
1. 无法找到可执行文件：如果指定的可执行文件路径不正确或不存在，CreateProcess将失败。请确保提供正确的可执行文件路径。
2. 权限不足：如果当前用户没有足够的权限来执行指定的可执行文件，CreateProcess将失败。尝试使用管理员权限运行程序或确保当前用户具有足够的权限。
3. 缺少依赖项：如果可执行文件依赖于其他文件或库，而这些依赖项缺失或不正确，CreateProcess可能会失败。请确保所有必需的依赖项都存在且配置正确。
4. 操作系统错误：在某些情况下，CreateProcess可能由于操作系统级别的问题而失败。这可能涉及到资源不足、进程配额超过限制或其他系统限制等。
如果你需要更具体的帮助，建议提供更多关于问题的细节和上下文信息。这样我可以更好地理解问题，并给出相关的解决方案。